株式会社ティーエスシー|半導体・通信・光学関連のガラス部品の製造販売|高精度ガラス加工装置の開発・製造・販売|神奈川県相模原市

 

オプティカルフラット

 

オプティカルフラットとは?

オプティカルフラットとは?
 
オプティカルフラットは、精密に硝子素材の表面を研磨加工された平行平面基板のことを指します。レーザー用の高精度平面窓材としても用いられておりますが、通常は平面度(面精度)の未知なる研磨面に対する比較参照用の理想平面(基準面)として用いられています。

オプティカルフラットは、面精度が片面のみ有効な「片面フラットタイプ」と、両面に有効な「両面フラットタイプ」の2種類があります。
 

オプティカルフラットで何が見えるか?

オプティカルフラットで何が見えるか?
 
オプティカルフラットの精密研磨面を面精度の未知な面(被検物)と重ねると、明るい縞と暗い縞のパターンが形成されます。この縞は、光学においては干渉縞と呼ばれ、得られる干渉縞パターンは、被検物の面精度の状態を視覚的に再現しています。

面精度の大きさは、隣同士の干渉縞の間隔と、個々の干渉縞の直線からのずれの量(曲がり量)で決まります。1本々々の干渉縞が曲がってなく(直線で)、隣同士の縞とお互いに平行で、縞の間隔も均等なパターンが得られる場合、その被検面は、オプティカルフラットの精密研磨面と同等か、或いはそれ以上の面精度を持っていることになります。
 

面精度測定以外のオプティカルフラットの用途

面精度測定以外のオプティカルフラットの用途
 
オプティカルフラットは、面精度測定用途以外にも、面精度の非常に高い高精度光学ウィンドウとしても利用できます。両面フラットタイプのオプティカルフラットは、可干渉性が求められるレーザー用の窓材として理想的です。
   
外径寸法 最大 φ380mm
厚さ 0.5~45mm
面精度 λ~λ/10
外径真円 ±10~±100μm
平行度 1”~3’
外観品質 Mil 30-10~Mil 60-30
材質 BK-7、石英、パイレックス、ゼロデュアー 等

   

※合成石英、ゼロデュアー材を主流にした高精度な面精度のオプティカルフラットを多種類に製作いたします。製作仕様は上記表によります。

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